勻膠顯影機(jī)是線性模塊裝備的全自動設(shè)備，恣意兩個相鄰模塊之間都需求一個晶片的轉(zhuǎn)移機(jī)構(gòu)，所以晶片的模塊間精確快速傳送就顯得格外重要。為了完成不同模塊之間晶片的平穩(wěn)轉(zhuǎn)移和取放，

　　一個簡易機(jī)械手的開發(fā)顯得尤為重要。該機(jī)械手應(yīng)該能完成左右旋轉(zhuǎn)和上下升降兩個功能，結(jié)構(gòu)簡略而牢靠，同時造價較低，并能完成*的國產(chǎn)化。

　　新式內(nèi)容本就實用于新式的目的在于提供一種勻膠顯影機(jī)用機(jī)械手設(shè)備，該機(jī)械手結(jié)構(gòu)簡略牢靠而又合理，操作修理十分便利，且造價較低。

　　實用于新式的技能計劃是膠顯影機(jī)用機(jī)械手設(shè)備，包含主軸、套筒、大齒輪I、大齒輪II、底板、機(jī)械手、小齒輪I、支座、小齒輪II、升降電機(jī)、旋轉(zhuǎn)電機(jī)；主軸外側(cè)設(shè)有套筒，小齒輪II由旋轉(zhuǎn)電機(jī)驅(qū)動，小齒輪II與大齒輪I經(jīng)過皮帶傳動，大齒輪I經(jīng)過銜接部件與套筒固定，套筒上端與底板相連，主軸上部穿過底板，大齒輪II與主軸上部銜接，支座置于底板上，大齒輪II與主軸上部銜接，支座置于底板上，小齒輪I置于支座上，與機(jī)械手經(jīng)過銜接部件銜接的小齒輪I與大齒輪II之間經(jīng)過皮帶傳動。

　　所述皮帶上下能夠設(shè)有張緊輪；所述支座內(nèi)開有與真空管、機(jī)械手相通的通道，主軸為中空軸，需求傳送的晶片置于機(jī)械手上外表，經(jīng)過真空吸附設(shè)備、主軸、真空管、支座，從機(jī)械手底部將晶片吸附于機(jī)械手上外表。

　　所述支座為“⊥”形，其內(nèi)通道為“」”形，小齒輪I與“⊥”形支座的豎向經(jīng)過軸承合作。

　　實用于新式絲杠與升降電機(jī)銜接，絲杠穿過提高板，與提高板螺紋傳動合作；同時，主軸、導(dǎo)向桿穿過提高板，形成對提高板的三點定位。

　　實用于新式位置檢測開關(guān)安裝在提高板上，與坐落提高板右側(cè)的極限位檢測片合作完成機(jī)械手上下位的檢測。

　　實用于新式旋轉(zhuǎn)電機(jī)和升降電機(jī)能夠為同步電機(jī)。

　　實用于新式的長處及有益作用是

　　1  實用于新式晶片在機(jī)械手上放置的中心點總是在一條直線上運(yùn)動，且移動距離可調(diào)。

　　2  實用于新式機(jī)械手配有真空吸附，輔助晶片定位，保證晶片在移動中不發(fā)生偏移。

　　3  實用于新式機(jī)械手的上下移動和左右旋轉(zhuǎn)均由步進(jìn)馬達(dá)完成，靠脈沖個數(shù)的給定來完成精確的重復(fù)定位精度。

　　4  實用于新式能夠具有杰出的人機(jī)交互界面，對機(jī)械手進(jìn)行監(jiān)控。

　　5  實用于新式結(jié)構(gòu)簡略牢靠而又合理，操作修理十分便利，且造價較低。